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兴业证券:电子行业半导体量检测设备:控制芯片生产良率的关键,具备极大国产替代空间和极强迫切性

半导体 26页     2025-04-16     收藏0   喜欢0   评分-   16积分
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文档描述
半导体量检测设备:芯片良率关键,光学和电子束技术优势互补。半导体量检测设备主 要用于前道晶圆制造和中道先进封装中的工艺控制,是芯片良率的关键。随着半导体工 艺制程的不断缩小,芯片内部结构日趋复杂,同时应用于 HBM 等新兴领域的 2.5D/3D 先进封装技术也快速发展,行业对于工艺控制要求愈发严苛,下游客户对高端半导体质 量控制设备的技术要求及需求量也持续提升。从底层技术上看,目前产业中半导体量检 测设备多应用光学和电子束技术,光学检测效率高,电子束检测精度高,在实际产业应 用中,往往会同时考虑光学检测技术与电子检测技术特性,优势互补使用。
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