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图9、海内外主要厂商无图形晶圆缺陷检 测 产品对比
76
表1、半导体工艺控制设备重点公司盈利预测
67
图6、2021 年全球电子束检测设备竞争格局
63
图7、半导体工艺控制设备工艺应用：缺陷检测+量测
61
图8、半导体缺陷检测分类
68
图3、2020 年全球半导体量检测设备市场结构
60
图4、光学 VS 电子束：光学检测速度更高，电子
69
图5、2021 年全球电子束量检测设备市场结构
68
图29、中科飞测 FY2019-2024 年研发投入情况（亿元，%）
78
图27、中科飞测 F Y 2
67
图28、中科飞测 FY2020-2024 年利润情况
61
图21、FY2008-2024 年科磊收入规模和增速（亿美元，%）
71
图22、FY2017-2024 年科磊半导体工艺控制设备收入下游构成（亿美元）
74
图24、2023 年中国大陆半导体量检测设备格局（亿美元，%）
85
图19、2020 年全球半导体检测和量测设备市场竞争格局
65
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